1、為防止潔凈室外的顆粒物直接侵入室內采取的技術措施
（1）潔凈室內維持正壓，防止潔凈度比該潔凈室低的周圍空氣攜帶顆粒物及其其他污染物通過圍護結構的縫隙和孔洞直接進入室內。
（2）采用符合要求的空氣凈化系統對送風進行過濾。經過濾后的空氣，不得被其后的管道、送風口等再污染，同時過濾器要安裝密封設施，以免未經過濾的空氣滲漏入室。
（3）對進入室內的人員和物料采取合格的凈化措施，防止將污染物帶入潔凈室內。
2、為防止顆粒物在潔凈室內堆積（積聚）采取的技術措施
（1）潔凈室圍護結構內表面不應有或盡量減少突出物和溝縫，以免堆積塵埃。
（2）室內的設備、管路、家具等應易于清掃。
（3）設置真空清掃系統或真空掃除機，定期清掃。
3、為防止室內產生顆粒物采取的技術措施
（1）潔凈室內的建筑裝修材料、設備、家具、用具等應不產塵或盡可能少產塵。
（2）室內人員應穿著合格的潔凈服、遵循潔凈室操作（動作）規程，以減少發塵。
（3）提高工藝過程的機械化、自動化程度。這對別潔凈室尤為重要。
4、為迅速有效的排除進入室內和室內發生的顆粒物采取的技術措施
（1）用經過凈化的潔凈空氣及時排除室內發塵，可用采用“稀釋沖淡”或“活塞置換”的手段來排除室內的發塵。
（2）用足夠的風量保證必要的換氣次數，采用合理的氣流組織來實現塵粒的排除，氣流組織要考慮到室內工藝設備和發塵點的位置等實際情況。
（3）對發塵量比較大的設備可以采用局部排風。